微細加工分野（ICプロセス、MEMS等）

　「ファジィシステム研究所がなぜ，ICプロセス？」そんな疑問を持たれる方が多いと思います。新しい電子回路を実現すれば、次は集積化。それはごく一般的な技術の流れです。当研究所は、最終的な理想像であるIC化を前提に研究開発を進めてまいりました。ファジィ・ニューロンチップやカオスチップなども、そんな基本姿勢により世に送り出すことができました。 当研究所では設立時から簡易IC製造ラインを所有しております。自主研究はもちろん，ICプロセス技術の普及のためのプロセス実習セミナーを企画・実施し、ご好評いただいてまいりました。このプロセス実習セミナーは，2001年度のグッドデザイン賞（新領域デザイン部門）を受賞いたしました。 現在では、北九州学術研究都市の共同研究開発センター（外部リンク）に装置を移転し、一般の方の利用が可能な施設としてご提供しております。ご自分でオリジナルなICを作ってみたいという方は、是非ご利用ください。

header

■微細加工技術を応用した加工例

 
マイクロ変位センサ(写真提供:九州大学澤田研究室)   Siマイクロブリッジ

＜共同研究開発センターのご利用に関するお問い合せ先＞
URL:お問い合わせ先（外部リンク）
TEL: 093-695-3600
FAX: 093-695-3609